磁控溅射镀膜玻璃生产线上Opto22的应用

    磁控溅射镀膜玻璃生产线的原理是，利用浮法玻璃在高真空状态下应用离子溅射法沉积金属和金属氧化物到玻璃表面，形成镀膜玻璃.金属和金属氧化物利用光学衍射原理可生产各种颜色镀膜玻璃,色彩丰富多彩,膜层牢固.而且具有很好的隔热保温效果.目前我国大中城市高楼大厦玻璃幕墙使用的绝大多数是引进德国或美国生产线生产的离线镀膜玻璃。

    国内某知名镀膜玻璃制造商在二十世纪九十年代引进了德国的大型磁控溅射镀膜玻璃生产线，生产控制系统采用了Opto22的产品，这个系统使用一直十分稳定，系统硬件极为可靠，很少购买备件，为了扩大产能，公司决定对生产线改造，在改造过程中系统依然采用了Opto22的以太网控制产品。改造的内容是对新增的溅射室实现控制，在溅射室外通过循环冷却水，当条件具备时，在溅射室内通入设定比例的工艺气体，通过控制溅射电源的电源功率和电流，实现对浮法玻璃的表面镀膜。

    由于原有系统在MS-DOS操作系统下运行，为维持工厂正常生产，暂时不做改造，但是为了和原有系统相配合，新程序设计选择了多种控制方案，即单个溅射室控制，多个溅射室联动。实现了灵活的控制。整个控制系统实现了以下功能：

    （1）工作模式选择：可以选择单机控制，联机控制

    （2）工艺配方选择：可以设置工艺气体的多个配方，在满足不同生产要求时候可以灵活调用各种配方。

    （3）参数实时显示：可以集中显示各个溅射室的溅射电源功率，电流，电压，工艺气体质量流量，循环冷却水阀门状态等。

    （4）报警记录：系统可以对溅射电源的电流偏差报警，工艺气体质量流量偏差报警，循环冷却水断流状态报警，通讯故障报警。出现报警时候弹出告警窗口并声光报警，生成报警日志文件记录。

    （5）实时及历史趋势记录：可以记录系统关键参数，如溅射电源电流，功率，工艺气体质量流量等，记录周期可以灵活调整；

    通过技术改造，工厂提高了产能，控制系统运行也一如原有OPTO22系统一样的稳定可靠。