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| 申 请 号： | 200610025284.5 | 申 请 日： | 2006.03.30 |
| 名 称： | 一种采用相变方法实现绝缘体上应变硅的制作方法 | ||
| 公 开 (公告) 号： | CN1851900 | 公开(公告)日： | 2006.10.25 |
| 主 分 类 号： | H01L21/762(2006.01)I | 分案原申请号： | |
| 分 类 号： | H01L21/762(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I | ||
| 颁 证 日： | 优 先 权： | ||
| 申请(专利权)人： | 上海理工大学 | ||
| 地 址： | 200093上海市杨浦区军工路516号 | ||
| 发 明 (设计)人： | 张轩雄;茹国平 | 国 际 申 请： | |
| 国 际 公 布： | 进入国家日期： | ||
| 专利 代理 机构： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代 理 人： | 吴宝根 |
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