玻璃衬底的预多晶硅被覆

2008-7-31   来源：国家知识产权局   点击数：233次

申 请 号： 01815870.6 申 请 日： 2001.08.27 名 称： 玻璃衬底的预多晶硅被覆 公 开 (公告) 号： CN1469848 公开(公告)日： 2004.01.21 主 分 类 号： C03C17/22 分案原申请号： 分 类 号： C03C17/22;C03C17/34 颁 证 日： 优 先 权： 2000.8.28 US 09/649,724 申请(专利权)人： 应用材料有限公司 地 址： 美国加利福尼亚州 发 明 (设计)人： K·S·劳;D·梅丹 国 际 申 请： PCT/US01/26668 2001.8.27 国 际 公 布： WO02/019363 英 2002.3.7 进入国家日期： 2003.03.18 专利 代理 机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代 理 人： 蔡胜有 摘要　   一种用于在预退火玻璃衬底上形成多晶硅层的方法和装置。在一个技术方案中，该方法包含：在沉积室中装载预退火玻璃衬底，在预退火玻璃衬底上沉积非晶硅层，对预退火玻璃衬底进行退火，以便在其上形成多晶硅层。非晶硅层可以在进行退火步骤的同时沉积，以便在预退火玻璃衬底上生成多晶硅层。可以在沉积非晶硅层之前沉积氮化物层和/或氧化物层，并且对预退火玻璃衬底进行退火。

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