| 申 请 号: | 200610172429.4 | 申 请 日: | 2006.12.27 |
| 名 称: | 基板检测设备及玻璃基板检测设备 | ||
| 公 开 (公告) 号: | CN1987436 | 公开(公告)日: | 2007.06.27 |
| 主 分 类 号: | G01N21/896(2006.01)I | 分案原申请号: | |
| 分 类 号: | G01N21/896(2006.01)I;G01N21/89(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | ||
| 颁 证 日: | 优 先 权: | ||
| 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 | ||
| 地 址: | 中国台湾新竹市 | ||
| 发 明 (设计)人: | 魏仲立;郭永仁 | 国 际 申 请: | |
| 国 际 公 布: | 进入国家日期: | ||
| 专利 代理 机构: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代 理 人: | 潘培坤 |
摘要
一种基板检测设备及玻璃基板检测设备,其与输送装置配合使用。输送装置具有输送面并用于输送至少一个基板。基板检测设备包含支撑座、抬升机构、光盒及驱动机构。抬升机构设置在支撑座上。抬升机构具有多根抬升支架,每一抬升支架位于输送面下方且与输送面平行设置。光盒应与抬升机构相对应设置,用于检视玻璃基板。驱动机构设置于支撑座中,并与该抬升机构连接。
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