微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液及其制备方法 |
| 2008-7-31 来源:国家知识产权局 点击数:748次 |
本发明提供一种微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液,其包括磨料 I、磨料II、表面活性剂、pH调节剂以及去离子水;各种组分所占的重量百分比为:磨料I为10%至40%,磨料II为5%至20%,表面活性剂为0.01%至0.6%,pH调节剂为1%至6%,去离子水为余量;前述各组分混合液的pH 值为10至12;可用于微晶玻璃的表面抛光加工中,有效减少微晶玻璃抛光后的表面划伤,降低微晶玻璃抛光后的表面粗糙度,能够满足制造计算机硬盘基板的需要,且抛光速率快,抛光液不腐蚀设备,使用的安全性能高。 |
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