| 申 请 号: |
200610053955.9 |
申 请 日: |
2006.10.25 |
| 名 称: |
一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法 |
| 公 开 (公告) 号: |
CN1963460 |
公开(公告)日: |
2007.05.16 |
| 主 分 类 号: |
G01N21/00(2006.01)I |
分案原申请号: |
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| 分 类 号: |
G01N21/00(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I |
| 颁 证 日: |
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优 先 权: |
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| 申请(专利权)人: |
浙江大学 |
| 地 址: |
310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |
| 发 明 (设计)人: |
韩高荣;刘 涌;宋晨路;汪剑勋;刘军波;刘起英 |
国 际 申 请: |
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| 国 际 公 布: |
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进入国家日期: |
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| 专利 代理 机构: |
杭州求是专利事务所有限公司 |
代 理 人: |
韩介梅 | 摘要 本发明涉及一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法,包括如下步骤:建立薄膜厚度h、折射率n、消光系数k与薄膜透射率、反射率的函数关系,与实测镀膜玻璃的可见光透射、反射光谱联立构成曲线拟和问题,利用模拟退火法、牛顿迭代法相结合的两步法求解这个曲线拟和问题,从而获得薄膜光学参数的测量结果。本发明与已有的相应技术相比,更适于镀膜玻璃薄膜的测量,具有快速准确的测量效果,测量结果稳定,而且方法简便易行,成本低廉。
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